工作原理
首先,我們來(lái)說(shuō)一下什么叫做等離子體。
等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣體狀物質(zhì),它廣泛存在于宇宙中,常被視為是除去固、液、氣外,物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導電體,利用經(jīng)過(guò)巧妙設計的磁場(chǎng)可以捕捉、移動(dòng)和加速等離子體。等離子體物理的發(fā)展為材料、能源、信息、環(huán)境空間,空間物理,地球物理等科學(xué)的進(jìn)一步發(fā)展提新的技術(shù)和工藝。
等離子清洗機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現一定的真空度,隨著(zhù)氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(cháng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應,不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿(mǎn)足刻蝕的需要。利用等離子處理時(shí)會(huì )發(fā)出輝光,故稱(chēng)之為輝光放電處理。
等離子體清洗的機理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來(lái)看,等離子體清洗通常包括以下過(guò)程:無(wú)機氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應殘余物脫離表面。
產(chǎn)品特點(diǎn)
等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對象的基材類(lèi)型,均可進(jìn)行處理,對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現整體和局部以及復雜結構的清洗。
等離子體清洗還具有以下幾個(gè)特點(diǎn):容易采用數控技術(shù),自動(dòng)化程度高;具有高精度的控制裝置,時(shí)間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會(huì )在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。
用途
(1)醫用材料研究,主要為研究和開(kāi)發(fā)企業(yè)或研究所;
(2)電子領(lǐng)域,應用較為廣泛,如電路板等;
(3)生物芯片領(lǐng)域;
(4)高分子材料研究或開(kāi)發(fā)單位;
(5)高端和精密研究的清洗、除污。保證儀器的正常使用;
(6)光學(xué)材料的開(kāi)發(fā)和研究;
(7)電化學(xué)單位,進(jìn)行表面處理的單位;
(8)其他主要進(jìn)行表面處理的單位。
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